在20世紀(jì)60年代，我國已開發(fā)出真空冷凍干燥設(shè)備，當(dāng)時主要用于制藥行業(yè)。為了拓寬應(yīng)用范圍，我國又開發(fā)出大型真空冷凍干燥設(shè)備，計劃用于保健品和農(nóng)產(chǎn)品加工領(lǐng)域。但由于當(dāng)時國內(nèi)市場需求不旺，因此，60年代末至80年代初，真空冷凍干燥設(shè)備行業(yè)一直處于低潮。
1998年開始，真空冷凍干燥設(shè)備行業(yè)的市場形勢趨于好轉(zhuǎn)，銷勢開始回升，處于一個較好的狀態(tài)。我國食品、保健品及醫(yī)藥行業(yè)所用的大型真空冷凍干燥設(shè)備，主要是從國外進(jìn)口的產(chǎn)品，價格十分昂貴。雖然國內(nèi)有少數(shù)企業(yè)生產(chǎn)此類設(shè)備，但由于存在技術(shù)、工藝、質(zhì)量方面的問題，使這類國產(chǎn)設(shè)備很難推廣，這些問題主要包括：一是加熱不均勻；二是真空度不夠，影響干燥速度。據(jù)測定，升華干燥的真空度臨界點即三相點為：壓力為4．7mmHg，溫度為0℃。
微波真空冷凍干燥設(shè)備在我國面市已有10多年的時間，但多為小型設(shè)備。由于生產(chǎn)該種設(shè)備的技術(shù)難度很大，所以，該種設(shè)備一直未得到很好的推廣。
在生產(chǎn)微波真空冷凍干燥設(shè)備的過程中，最突出的技術(shù)難題是低氣壓氣體的放電問題：處于真空狀態(tài)下的氣體，在稀釋到一定程度時，在外界加入能量的情況下，會產(chǎn)生高頻放電現(xiàn)象。低氣壓氣體出現(xiàn)高頻放電現(xiàn)象，產(chǎn)生的危害是微波能輸送不到物料內(nèi)、微波反射嚴(yán)重、毀壞微波爐的密封窗，繼而破壞微波爐內(nèi)的真空狀態(tài)。